He kupu whakataki ki te mahi Angiangi Hoki Whakamuri
1. Te kaupapa o te Whakamuri Whakamuri
I roto i te mahi hanga semiconductors mai i nga angiangi, ka huri tonu te ahua o nga angiangi.Tuatahi, i roto i te mahi angiangi, ka whakakorikoria te Tapa me te mata o te angiangi, he tukanga e huri ana i nga taha e rua o te angiangi.I muri i te mutunga o te tukanga o mua-mutunga, ka taea e koe te timata i te mahi huri i muri e huri noa ana i te tuara o te angiangi, ka taea te tango i te poke matū i roto i te tukanga o mua me te whakaiti i te matotoru o te maramara, he mea tino pai. mo te hanga maramara kikokore e mau ana i runga i nga kaari IC, i nga taputapu pūkoro ranei.I tua atu, ko tenei tukanga he painga ki te whakaiti i te parenga, te whakaiti i te kaha o te kaha, te whakanui ake i te wera o te wera me te tere o te wera ki muri o te wafer.Engari i te wa ano, na te mea he kikokore te angiangi, he ngawari ki te pakaru, ki te pakaru ranei e nga kaha o waho, ka uaua ake te mahi o te mahi.
2. Whakamuri Whakamuri (Back Grinding) tukanga taipitopito
Ka taea te wehea te huri o muri ki nga hikoinga e toru e whai ake nei: tuatahi, whakapiri i te Tape Lamination tiaki ki runga i te angiangi;Tuarua, kohia te tuara o te angiangi;Tuatoru, i mua i te wehenga o te maramara mai i te Wafer, me whakanoho te angiangi ki runga i te Wafer Mounting hei tiaki i te riipene.Ko te tukanga papaki angiangi ko te waahi whakarite mo te wehe i temaramara(te tapahi i te maramara) na reira ka taea hoki te whakauru ki te tukanga tapahi.I nga tau tata nei, i te mea kua angiangi nga maramara, ka rereke ano te raupapa o te tukanga, a kua pai ake te para o nga mahi.
3. Te tukanga Lamination Tape mo te tiaki angiangi
Ko te taahiraa tuatahi i roto i te huri o muri ko te paninga.He tukanga whakakikoruatia tenei e mau ai te riipene ki mua o te angiangi.I te wa e huri ana i te tuara, ka horahia nga puhui silicon ki tetahi taha, ka pakaru ano te angiangi, ka pakaru ranei na te kaha o waho i roto i tenei mahi, me te nui o te waahi angiangi, ka kaha ake ki tenei ahuatanga.No reira, i mua i te huri i te tuara, ka whakapirihia he kiriata kikorangi Ultra Violet (UV) kikorangi hei tiaki i te angiangi.
A, no te tono i te kiriata, kia kore ai he mokowhiti, he mirumiru hau ranei i waenga i te angiangi me te rīpene, me whakanui ake te kaha o te piri.Heoi, i muri i te huri i te tuara, ko te riipene i runga i te angiangi me whakamaarama e te rama ultraviolet hei whakaiti i te kaha piri.I muri i te tangohanga, kaua e noho te toenga rīpene ki runga i te mata angiangi.I etahi wa, ka whakamahi te tukanga i te adhesion ngoikore me te ngawari ki te mirumiru kore-ultraviolet whakaiti maimoatanga membrane, ahakoa he maha nga ngoikoretanga, engari he iti te utu.I tua atu, ko nga kiriata Bump, e rua te matotoru o nga kiriuhi whakaheke UV, ka whakamahia ano, me te whakaaro kia whakamahia me te piki haere o te waa a meake nei.
4. Ko te matotoru angiangi he taurite ki te kete maramara
Ko te matotoru angiangi i muri i te huri o muri ka whakaitihia mai i te 800-700 µm ki te 80-70 µm.Ko nga mea angiangi kua angiangi ki te hautekau ka taea te tapae e wha ki te ono nga paparanga.Ina tata nei, ka taea te angiangi te angiangi kia tata ki te 20 mitamano na roto i te mahinga e rua-miri, na reira ka whakaemihia ki te 16 ki te 32 paparanga, he anga whakaahuru-papa-maha e mohiotia ana ko te kete-maha-maha (MCP).I tenei keehi, ahakoa te whakamahi i nga paparanga maha, ko te teitei katoa o te kete kua oti me kaua e neke ake i tetahi momo matotoru, na reira ka whaia tonutia nga angiangi huri angiangi.Ko te angiangi o te angiangi, ka nui ake nga koha, ka uaua ake te mahi ka whai ake.Na reira, ka hiahiatia nga hangarau matatau hei whakapai ake i tenei raru.
5. Hurihia te tikanga huri tuara
Ma te tapahi i nga angiangi kia angiangi ki te hinga i nga herenga o nga tikanga tukatuka, ka tipu haere tonu te hangarau huri tuara.Mo nga angiangi noa he 50 neke atu ranei te matotoru, e toru nga hikoinga o te Whakamuri o muri: he Miro Rough me te Mimi Pai, kei reira ka tapahia te angiangi me te whakakoi i muri i nga wahanga huri e rua.I tenei wa, he rite ki te Maama Mechanical Polishing (CMP), Slurry and Deionized Water i te nuinga o te waa ka whakamahia i waenga i te papa whakakorikori me te angiangi.Ka taea e tenei mahi whakakorikori te whakaiti i te waku i waenga i te angiangi me te papa whakakorikori, kia kanapa ai te mata.Ina he matotoru te angiangi, ka taea te whakamahi Super Fine Grinding, engari ko te angiangi o te angiangi, ka nui ake te whakakoi.
Mena ka angiangi te angiangi, ka tupono ki nga koha o waho i te wa e tapahi ana.No reira, ki te 50 µm iti iho ranei te matotoru o te angiangi, ka taea te whakarereke i te raupapa tukanga.I tenei wa, ka whakamahia te tikanga DBG (Dicing Before Grinding), ara, ka tapahia te wafer ki te haurua i mua i te hurihanga tuatahi.Ka wehea marietia te maramara mai i te angiangi i runga i te raupapa o te Dicing, te huri, me te tapatapahi.I tua atu, he tikanga huri motuhake e whakamahi ana i te pereti karaihe kaha kia kore ai e pakaru te angiangi.
Na te piki haere o te tono mo te whakauru ki roto i te iti o nga taputapu hiko, ko te hangarau huri tuara kaua e hinga noa i ona here, engari kia whanake tonu.I te wa ano, ehara i te mea tika ki te whakaoti i te raruraru koha o te angiangi, engari ano hoki ki te whakarite mo nga raruraru hou ka puta ake i te wa kei te heke mai.Hei whakaoti i enei raruraru, me mahi peawhakawhitite raupapa tukanga, te whakauru ranei i te hangarau hangarau matū e whakamahia ana ki tehikohikotukanga mua-mutunga, me te tino whakawhanake tikanga tukatuka hou.Hei whakatau i nga hapa o nga wafers-a-rohe nui, kei te tirotirohia nga momo tikanga huri.I tua atu, kei te whakahaerehia he rangahau me pehea te hangarua i te para kirika i puta i muri i te hurihanga o nga angiangi.
Wā tuku: Hūrae-14-2023