Te raarangi mana whakahaere: ko nga ture maramara Tatimana hou e pa ana ki nga tauira DUV?

Tibco News, Hune 30, ka tukuna e te kawanatanga Tatimana nga ture hou mo te whakahaere kaweake o nga taputapu semiconductor, ko etahi o nga kaipāho i whakamaori i tenei ko te mana o te photolithography ki a Haina ka piki ano ki nga DUV katoa.Inaa, ko enei ture whakahaere kaweake hou e aro ana ki te 45nm me raro ake i nga hangarau hanga maramara, tae atu ki nga taputapu whakangao ngota ALD hou, nga taputapu tipu epitaxial, nga taputapu whakaheke plasma me nga punaha lithography rumaki, tae atu ki te hangarau, rorohiko i whakamahia. ki te whakamahi me te whakawhanake i aua taputapu matatau.

I roto i te tauākī ki a Tibco, i whakanui te ASML ko nga ture whakahaere kaweake hou a te kawanatanga Tatimana e kapi ana i etahi o nga tauira DUV hou, tae atu ki te TWINSCAN NXT:2000i me nga punaha rita o muri mai.Kua whakawhäitihia te tuhi tuhi EUV i mua, a, ko te tuku o etahi atu punaha kaore i te whakahaeretia e te kawanatanga Tatimana.E ai ki nga korero mo te paetukutuku mana a ASML, te punaha lithography rumaki DUV, tae atu ki: TWINSCAN NXT:2050i, NXT:2050i, NXT:1980Di e toru nga miihini lithography, ka taea e enei te kawe i te 38nm ~ 45nm te tukatuka angiangi tukanga.

 

I tua atu, ko nga miihini DUV lithography maroke e kaha ana ki te tukatuka angiangi i runga ake i te 45nm, penei i te 65nm ~ 220nm tukanga, penei i te TWINSCAN XT: 400L, XT: 1460K, NXT: 870, me etahi atu, kaore i whakauruhia ki roto i te rarangi whiu Dutch.

Ko te rarangi whakahaere Tatimana, i whakamaoritia e Tibco, e whai ake nei:

Ko te Ture MinBuza.2023.15246-27 i tukuna e te Minita mo nga Tauhokohoko me te Whakawhanaketanga Whakawhanaketanga o te Netherlands e whakarato ana mo nga whakaritenga raihana mo te kaweake o nga taputapu whakaputa matatau mo nga miihini kore i whakahuahia i mua i te Annex I o te Ture Nama 2021/821 (e pa ana ki te semiconductor matatau. taputapu hanga)

Upoko 2: Ka aukati tenei ture i te kaweake i nga taputapu whakangao semiconductor matatau mai i Netherlands me te kore whakaaetanga a te Minita.

Tuhinga 3:

1. Ko te tono mo te whakaaetanga kua whakahuahia i roto i te Upoko 2 ka tukuna e te kaihoko ki waho ka tukuna ki te kaiwhiu.

2. Ahakoa he aha, kei roto i te tono:

a） te ingoa me te wahi noho o te kaihoko;

b）Ingoa me te wahi noho o te kaiwhiwhi me te kaiwhakamahi mutunga o nga taputapu whakangao semiconductor matatau;

c）Ingoa me te wahi noho o te kaiwhiwhi me te kaiwhakamahi mutunga o nga taputapu whakangao semiconductor matatau.

3, i roto i tetahi take, he tika te kaiwhiu ki te tono i te kaihoko ki te whakarato i te kirimana mo te kaweake, me te korero mo te whakamahinga mutunga.

Tuhinga 4:

Ko te raihana e whakaahuatia ana i roto i te Upoko 2, ka pa ki nga tikanga me nga whakaritenga.

Ko te tuku raihana e whakaahuatia ana i te Upoko 2 ka noho me nga tohu.

Tuhinga V:

Ko nga raihana kua whakahuahia i te Upoko II ka taea te whakakore i nga keehi e whai ake nei:

a)I tukuna te raihana i runga i nga korero he, kore ranei i oti;

b)Ko nga tikanga, nga tikanga me nga here o te raihana kaore i whaia;

c)Mo nga take o te motu ke me te kaupapa here haumaru.